Laboranlagen für Forschungs- und Entwicklungsaufgaben zur Erprobung von Plasmastromversorgungen (DC-Quellen, Wechselrichter, gepulste Quellen) und skalierbaren Magnetron-Sputtersystemen (bis zu einer Länge von 3,75 m).

Typische Substrate

• Einseitenbeschichtung von Platten aus Metall, Kunststoff, Glas oder Keramik mit einer maximalen Substratabmessung bis 180 × 500 mm², Magazin für Mehrfachbeschichtungen

Aufgabenspektrum

• Entwicklung und Test von Schlüsselkomponenten
  
• Erprobung unter industrienahen Bedingungen
• Beschichtungen
• für spezielle Untersuchungen
• für die Marktentwicklung
• zur Bemusterung beim Endkunden
• Untersuchungen zur Wirtschaftlichkeit