Beschichtung von Flachsubstraten

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

© Fraunhofer FEP

Wir bieten Lösungen für die Veredelung von Flachsubstraten mit Schichten und Schichtsystemen an. Dazu nutzen wir unsere vakuumbasierten Beschichtungstechnologien Puls-Magnetron-Sputtern (PMS) und Hochrate-PECVD.

Wir entwickeln Sputterprozesse weiter, um sie einerseits für die Abscheidung neuer Schichtmaterialien zu qualifizieren und um anderseits Beschichtungskosten und Schichteigenschaften fortlaufend zu optimieren. Zur Abscheidung von Mehrlagen-Schichtsystemen entwickeln wir zudem Technologien, um einzelne Sputterprozesse aufeinander abzustimmen.

Unser Angebot

  • Entwicklung von Schichten und Schichtsystemen mit anschließender Aufskalierung der Prozesse und Technologien für Industrieanlagen
  • computergestütztes Design von Schichtsystemen
  • Entwicklung einer Abscheidetechnologie für diese Schichtsysteme auf Pilotanlagen des Fraunhofer FEP (ILA 900, ILA 750)
  • Pilotproduktion
  • Technologietransfer auf Produktionsanlagen unseres Kunden
  • Technologie Pakete zum reaktiven PMS, insbesondere Dual-Magnetron-Sputter-Systeme
  • Aufrüstung bestehender Anlagen oder Komplettierung neuer Maschinen mit PMS-Beschichtungsstationen
  • Stabilisierung des reaktiven Sputterprozesses mittels Plasma-Emissions-Regelung
  • Entwicklung und Überführung von Technologien zur Abscheidung von Einzelschichten
  • Erarbeitung von Prozeduren zur automatischen Parameterkorrektur bei Qualitätsabweichungen

Technologien

  • DC-Magnetron-Sputtern
  • Puls-Magnetron-Sputtern
  • Hochrate-PECVD
  • In-line Plasmavorbehandlung
  • Thermische Substratbehandlung im Vakuum

Anwendungsbeispiele

  • Transparente leitfähige Elektroden (TCO) für die Photovoltaik
  • Transparente halbleitende Schichten für die transparente Elektronik
  • Kontakt- und Absorberschichten für die Dünnschicht-Photovoltaik
  • Wärme- und Sonnenschutz-Schichtsysteme für Architekturglas
  • Elektromagnetische Filter für Plasma-Displays
  • Antireflex- und Antireflex-Antistatik (AR / ARAS)- Beschichtungen auf Glas und Kunststoffen
  • Barocke Verspiegelungen
  • Hochreflektierende Verspiegelungen

Ausstattung

  • ILA 900 [ PDF ]
  • ILA 750 [ PDF ]
  • LB 4001 [ PDF ]

Weitere Informationen: