Dissertationen

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

© Fraunhofer FEP

Jahr

Autor

Titel
2011 Manuela Junghähnel Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
2010 Jörn Weber Reaktive Abscheidung von SiOXNY-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern
  John Fahlteich Transparente Hochbarriereschichten auf flexiblen Substraten
2007 Daniel Glöß Einfluss von Beschichtungsparametern auf den Teilchen- und Energiestrom zum Substrat und Auswirkungen auf ausgewählte Eigenschaften von Titanoxidschichten beim reaktiven Puls-Magnetron-Sputtern
  Steffen Günther Der Prozess der plasmaunterstützten Aluminiumbedampfung und die Eigenschaften dadurch hergestellter Schichten
2006 Thomas Modes Struktur und Eigenschaften von TiO2-Schichten, abgeschieden durch reaktive plasmaaktivierte Elektronenstrahl-Bedampfung
  Wolf Michael Gnehr Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets
2003 Rolf Rank Optimierung von Hochfrequenzplasmen zur effektiven Vorbehandlung von Kunststoff-Folie in Bandbedampfungsanlagen
  Tilo Wünsche Untersuchung des Puls-Magnetron-Sputterprozesses zur Abscheidung von Aluminiumoxid und des Einflusses einer gepulsten Biasspannung am Substrat
2002 Christoph Charton Schichtwachstum, optische und elektrische Eigenschaften von Silber auf PET-Folie
  Uwe Krause Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid
2001 Matthias Schulze Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
2000 Hagen Bartzsch Physikalische Grundlagenuntersuchungen zur Prozeßstabilität und zur Homogenität des Teilchen- und Energiestroms auf das Substrat beim stationären reaktiven Pulssputtern mit dem Doppelringmagnetron
  Bert Scheffel Untersuchungen zum diffusen katodischen Vakuumbogen bei der plasmaaktivierten Hochratebedampfung
1999 Christoph Metzner Untersuchungen zur Hochrate-Elektronenstrahl-Verdampfung von dreikomponentigen Legierungen
1998 Olaf Röder Entwicklung eines Elektronenbandstrahlers für die Polymerisation dünner Kunststoffschichten. Development of an electron gun for thin plastics film polymerisation.
  Henry Morgner Untersuchungen zur Hochrate-Bedampfung von Kunststoffen mit Aluminiumoxid
1997 Olaf Zywitzki Einfluß von Substrattemperatur und Plasmaaktivierung auf Struktur und Eigenschaften von PVD-Al2O3-Schichten
  Volker Kirchhoff Untersuchungen der optischen Plasmaemission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
1996 Gösta Mattausch Untersuchungen zu glasartigen Eigenschaften von Relaxorferroelektrika bei tiefen Temperatoren
  Frank Milde Untersuchungen zur Plasma- und Ionenstrahlbehandlung von Polymerfolien
1995 Nicolas Schiller Röntgenspektrometrische in-situ Analyse der Schmelzbadzusammensetzung in Elektronenstrahlanlagen hoher Leistung