Chemische Zusammensetzung

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

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Methoden zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung

  • Optische Glimmentladungsspektrometrie (GD-OES) zur Bestimmung von chemischen Tiefenprofilen (Analyse leitender Proben; Tiefenauflösung etwa 10 nm)
  • Energiedispersive Spektrometrie von Röntgenstrahlen (EDS)
    (Elemente mit Ordnungszahl > 5; laterale Auflösung von etwa 1 µm)
  • Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS)*
    (Analyse von leitenden und nichtleitenden Proben, Tiefenauflösung etwa 2 bis 5 nm)
    * in enger Zusammenarbeit mit anderen Instituten