Oberfläche, Topographie, Schichtdicke

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

© Fraunhofer FEP

Methoden zur Charakterisierung der Oberfläche und zur Bestimmung der Schichtdicke

  • Kontaktwinkelmessgerät zur Ermittlung der Oberflächenenergie
  • Rasterkraftmikroskop (AFM) zur Untersuchung der Topographie dünner Schichten
  • Tastschnittgerät zur Messung von Rauheit und Welligkeit (2D und 3D Scans)
  • Verschiedene Methoden zur Schichtdickenbestimmung (Tastschnittgerät, Calotest, Röntgenfluoreszenz, UV-VIS Spektrometer und Spektroskopisches Ellipsometer)