Optische Eigenschaften

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

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Methoden zur Bestimmung der optischen Eigenschaften

  • Spektroskopische Ellipsometrie; 250...1700 nm; variabler Einfallswinkel 50°-75°
  • UV/VIS/NIR Spektroskopie; 180...2500 nm
  • Infrarot Spektroskopie; 1...25 µm