Überblick über vorhandene Messgeräte

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

© Fraunhofer FEP

Schichtcharakterisierung

  • Ultrahochauflösendes Feldemissionsrasterelektronenmikroskop SU8000 (Hitachi) mit EDS-Mikroanalysesystem Apollo XV (EDAX)
  • Cross Section Polisher SM-09010 (JEOL)
  • Optisches Glimmentladungsspektrometer GDS-750 QDP (Leco)
  • Rasterkraftmikroskop Explorer (Topometrix)
  • Spektroskopisches Ellipsometer SE850 (Sentech)
  • Nanoindentationtechnik Nano Indenter XP (MTS)
  • Tastschnittgerät P15-LS (Tencor)
  • Metallographische Präparationstechnik (Struers)
  • Lichtmikroskop Polyvar 2 Met (Reichert)
  • Kontaktwinkelmessgerät G23M (Krüss)
  • Scratchtest MST4 (CSEM)
  • Abrasionstest Taber Abraser Model 5130
  • UV/VIS/NIR- Spektrometer Lambda 900 und Lambda 19 (Perkin Elmer)
  • FTIR- Spektrometer Spec 2000 (Perkin Elmer)
  • Wasserdampfdurchlässigkeitsgerät WDDG (Brugger Feinmechanik)
  • Sauerstoffpermeationsmessgerät OX-TRAN 2/20 (Mocon)
  • Korrosionsprüfgerät SKB 400 A-SC (Liebisch)