Das Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP wurde nach der deutschen Wiedervereinigung aus Arbeitsgruppen des früheren Forschungsinstitutes Manfred von Ardenne in Dresden gebildet. Das Fraunhofer FEP wurde 1991 gegründet und bezog zunächst ein Technikums-Gebäude in Helmsdorf (ca. 20 Kilometer von Dresden). 1996 begannen der Bau des Technikums-Gebäudes und die Sanierung eines Labor- und Bürogebäudes auf dem Fraunhofer Institutszentrum Dresden (IZD) an der Winterbergstraße. Hier stehen heute rund 8.000 m² Arbeitsfläche zur Verfügung. Der Standort Helmsdorf wurde seit 2005 schrittweise und 2010 völlig aufgegeben.