Präzisionsbeschichtung

Wir entwickeln Prozesse und Technologien, um elektrische, optische, akustische oder magnetisch wirksame Schichten und Schichtsysteme mit Vakuumverfahren präzise und homogen auf große Flächen aufzubringen. So legen wir die Grundlagen für neue Produkte in den Branchen Optik, Elektronik und Sensorik, Photovoltaik, Speichermedien sowie Biomedizintechnik.

Für unsere Kunden entwickeln wir kostengünstige Technologien zur Herstellung innovativer Produkte, für die die Kombination verschiedener Schichteigenschaften die Produkteigenschaften wesentlich bestimmen. Die langzeitstabilen Sputterprozesse eignen sich für die Herstellung von Präzisionsschichtsystemen.

Die Leistungen umfassen die angepasste Entwicklung von Schlüsselbaugruppen, Verfahren und Schichtsystemen bis zur Aufskalierung und Überführung integrierter Pakete aus Hardware und Technologie in die Produktion.

Unser Angebot

  • Entwicklung und Optimierung von Beschichtungstechnologien und Schichtsystemen für Ihre Anwendung
  • Entwicklung von Schlüsselbaugruppen (Magnetronsputterquellen, Plasmaätzeinrichtungen) angepasst an die Anforderungen der Beschichtungsaufgabe
  • Beschichtung von Mustern und Pilotproduktion
  • Transfer von integrierten Paketen (bestehend aus Schlüsselkomponenten, vollautomatischer Steuer- und Regelungstechnik sowie Technologie) in Produktionsanlagen
  • Unterstützung bei der Kostenermittlung und der anlagentechnischen Umsetzung

Technologien

  • Langzeitstabiles Hochrate-Magnetronsputtern (DC, MF, RF) für eine Vielfalt von Schichten wie Metalle, Legierungen, Verbindungen, Schichtsystemen und Gradientenschichten
  • Reaktives Puls-Magnetron-Sputtern für mehrkomponentige Verbindungs- und Gradientschichtsysteme
  • Beschichtungsverfahren für stationäre und bewegte Substrate
  • Hochrate-PECVD

Produktbeispiele

  • Schichtsysteme und Gradientenschichten für präzisionsoptische Bauelemente (Filter, Spiegel)
  • Antireflex- und Antireflex-Antistatik-Beschichtungen von optischen Komponenten mit hohen Anforderungen an Stressreduktion und klimatische Beständigkeit (Brillenlinsen, Optiken)
  • Akustisch wirksame Schichten auf Oberflächenwellenbauelementen
  • Schichten und Schichtsysteme für magnetische und optische Speichermedien (Festplatten, CD, DVD)
  • Mechanische Schutzschichten für Magnetköpfe und Sensoren
  • Kontaktschichtsysteme und Diffusionsbarrieren in elektronischen Komponenten für den Einsatz bei erhöhten Temperaturen
  • Elektrische Isolator-, Barriere- und weitere funktionale Schichten für Sensoren (z. B. Gassensorik)
  • Photokatalytische Schichten, Isolator- und Barriereschichten für Komponenten in der Bio- und Medizintechnik
  • Piezoelektrische Schichten für die Ultraschallmikroskopie sowie für die Mikroenergiegewinnung

Anwendungsbeispiele

  • SixOyNz-Antireflex-Schichtsystem für Brillenlinsen
  • Al2O3- Isolatorschicht für Drucksensoren
  • SiO2-Temperaturkompensationsschicht für Oberflächenwellenbauelemente
  • SixOyNz-Gradienten-Schichtsystem für Rugate-Filter bzw. IR-Kanten-Filter
  • Magnetron-Sputterstation für stationäres reaktives Beschichten von 8“-Substraten
  • Magnetron-Sputterstation für CD-Beschichtung

Austattung

  • PreSensLine
  • CLUSTER 300 [ PDF ]
  • LB nano