Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEPOberflächenbearbeitung und -beschichtung können Kunststofffolien und anderen flexiblen Substraten besonders wertvolle Eigenschaften verleihen. Durch diese Veredelung können die Materialien für eine Vielzahl von modernen und innovativen Produkten eingesetzt werden.
Am Fraunhofer FEP verfügen wir über zahlreiche Anlagen im Pilotmaßstab. Ebenso wichtig sind jedoch unsere Versuchsanlagen, in denen zunächst Machbarkeitsstudien und Technologieentwicklung im kleinen Maßstab stattfinden.
Das Besondere an unserer Versuchsanlage LB 9 ist die Möglichkeit, wichtige Vakuum-Prozesstechnologien in einem kleinen Maßstab zu kombinieren. So verfügt die Anlage über eine Verdampfereinheit, eine Hohlkathode zur Plasmaunterstützung der Bedampfung sowie über ein Dual-Magnetron-System, mit welchem Metalle und Dielektrika auf Substrate gesputtert werden können. Diese Flexibilität in den Prozessen erlaubt es, verschiedenste Schichten auf die Substrate zu bringen. Die Substrate können zudem beheizt werden. Als Substratmaterial eignet sich sowohl Glas als auch Kunststofffolie.
In der Anlage können wir somit die Kompatibilität von neuen Schichten auf unterschiedlichen Substraten testen, aber auch die Qualität neuer Sputter-Targets oder anderer Prozesskomponenten, beispielsweise mittels Plasmadiagnostik, untersuchen.
