ALMA 1000

Anlage zur Beschichtung von Kleinteilen als Schüttgut

Prototyp einer Verdampfungsanlage zur Beschichtung von Kleinteilen als Schüttgut, ausgestattet mit

  • zwei Schiffchenverdampfern,
  • einer Hohlkathodenquelle zur Plasmaaktivierung,
  • einem Magnetron zum Puls-Magnetron-Sputtern
  • einer Einrichtung zur Umwälzung und Fliehkraftfixierung des Schüttguts in einer rotierenden Trommel

Typische Substrate

  • Beschichtung von Kleinsubstraten, die als Schüttgut gehandhabt werden, mit typischen Abmessungen von 5 × 5 × 5 mm3.

Aufgabenspektrum

  • Technologie- und Verfahrensentwicklung
  • Machbarkeitsstudien
  • Musterbeschichtung

Anlagenvideo