Workshop  /  3.12.2019

EFDS – Diagnostik von Prozessplasmen

Plasmatechnologien für die Oberflächenmodifizierung und Schichtabscheidung sind industriell etabliert und viele Produkte der Halbleitertechnik, der Automobilindustrie, der Medizintechnik etc. sind ohne technologische Plasmaprozesse heutzutage kaum noch vorstellbar.

Zur Gewährleistung der Prozesssicherheit beim Einsatz der Plasmatechnik ist eine spezifische Prozesskontrolle unerlässlich. Zur Optimierung und damit letztlich auch zur Kostenreduktion der Fertigungsprozesse ist eine ständige Weiterentwicklung der relevanten Diagnostiken erforderlich.

Dieser Thematik widmet sich der Workshop »Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen«. Aus einschlägigen und renommierten Forschungseinrichtungen werden die neuesten Ergebnisse der Plasmadiagnostik vorgestellt und die Umsetzung bei einigen Industriepartnern aufgezeigt. Neben sehr speziellen diagnostischen Verfahren werden auch relativ einfach einsetzbare Methoden vorgestellt, die für einen industrienahen Einsatz gut geeignet sind.
Der Workshop wendet sich damit gleichermaßen an

  • Entwickler und Praktiker in Plasmatechnik und Anlagenbau
  • Physiker und Techniker aus der Grundlagenforschung.

Der Workshop wird veranstaltet von der Europäischen Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. (EFDS) gemeinsam mit der Universität Kiel, der Ruhr-Universität Bochum und dem Fraunhofer FEP Dresden sowie unter der Mitwirkung der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie e.V. (DGPT).

Webseite der Veranstaltung