Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEPWorkshop / 06. April 2014 - 11. April 2014
72nd IUVSTA Workshop
Plasma-assisted Vapour Deposition of Oxide Based Thin Films and Coatings
Vortrag
Dr. H. Morgner
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
»t.b.a.« (Siliziumoxid mit HAD-Prozess)
Vortrag
Dr. B. Scheffel
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
»t.b.a.« (Titanoxid mit SAD-Prozess)