Workshop  /  April 06, 2014  -  April 11, 2014

72nd IUVSTA Workshop

Plasma-assisted Vapour Deposition of Oxide Based Thin Films and Coatings

Lecture

Dr. H. Morgner
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

»t.b.a.« (Siliziumoxid mit HAD-Prozess)

Lecture

Dr. B. Scheffel
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

»t.b.a.« (Titanoxid mit SAD-Prozess)

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