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2020 Jasper Westphalen Implementierung eines Moduls zur großflächigen In-Line Blitzlampentemperung von gesputterten ITO-Schichten
  Simona Walker Stabilisierung und Sterilisation kardiovaskulärer Gewebetransplantate durch Ultraviolett- und niederenergetische Elektronenstrahlbehandlung
2019 Elisabeth Bodenstein Untersuchungen zur Elektronenstrahlstrukturierung von dünnen Schichten in Systemen der organischen Elektronik
  André Philipp Steigerung der Effizienz und Leuchtdichtehomogenität von organischen Leuchtdioden mittels Druck- und Laserprozessen
2018 Michiel Top Functional properties of plasma polymer coatings deposited using a hollow cathode arc discharge based PECVD process
  Daniel Hirsch Plasmaunterstützte CSS-Abscheidung von CdS-Fensterschichten für CdTe Solarzellen
  Gaby Gotzmann Elektronenstrahlmodifizierung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten zur biofunktionalen Beschichtung von Implantatmaterialien
  Cindy Steiner
Plasmagestützte Nanostrukturierung von ETFE-Folie
2017 Benjamin Graffel Untersuchungen zum Einsatz des Elektronenstrahls bei der Herstellung passivierter Solarzellen-Rückseitenkontakte
  Matthias Jahnel Organische Photosensoren mit spektraler Anpassung
  Susan Mühl An investigation of slot-die coated layers in evaporated small molecule organic light-emitting diodes targeting large area and flexible applications
2016 Tim Weichsel
Entwicklung und Charakterisierung einer Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquelle mit integriertem Sputtermagnetron für die Erzeugung intensiver Ströme einfach geladener Aluminiumionen
2015 Jessy Schönfelder
Niederenergetische Elektronenstrahltechnologie zur Sterilisation und Oberflächenmodifizierung von Transplantatgeweben
  Stefan Saager
Tiegelfreie Elektronenstrahlverdampfung von Silizium für Elektronenstrahlkristallisationsversuche
  Stephan Barth Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid- Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
2014 Pierre Pötschick Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
2012 Burkhard Zimmermann Plasmaphysikalische Charakterisierung einer magnetfeldgestützten Hohlkathoden-Bogenentladung und ihre Anwendung in der Vakuumbeschichtung
  Waldemar Schönberger Großflächige Entspiegelung von Kunststofffolien durch Plasma- und Ionenbehandlung
  Peter Feinäugle Experimentelle und numerische Untersuchen zu entladungsbasierten Elektronenstrahlquellen hoher Leistung
2011 Manuela Junghähnel Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
2010 Jörn Weber Reaktive Abscheidung von SiOXNY-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern
  John Fahlteich Transparente Hochbarriereschichten auf flexiblen Substraten
2007 Daniel Glöß Einfluss von Beschichtungsparametern auf den Teilchen- und Energiestrom zum Substrat und Auswirkungen auf ausgewählte Eigenschaften von Titanoxidschichten beim reaktiven Puls-Magnetron-Sputtern
  Steffen Günther Der Prozess der plasmaunterstützten Aluminiumbedampfung und die Eigenschaften dadurch hergestellter Schichten
2006 Thomas Modes Struktur und Eigenschaften von TiO2-Schichten, abgeschieden durch reaktive plasmaaktivierte Elektronenstrahl-Bedampfung
  Wolf Michael Gnehr Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets
2003 Rolf Rank Optimierung von Hochfrequenzplasmen zur effektiven Vorbehandlung von Kunststoff-Folie in Bandbedampfungsanlagen
  Tilo Wünsche Untersuchung des Puls-Magnetron-Sputterprozesses zur Abscheidung von Aluminiumoxid und des Einflusses einer gepulsten Biasspannung am Substrat
2002 Christoph Charton Schichtwachstum, optische und elektrische Eigenschaften von Silber auf PET-Folie
  Uwe Krause Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid
2001 Matthias Schulze Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
2000 Hagen Bartzsch Physikalische Grundlagenuntersuchungen zur Prozeßstabilität und zur Homogenität des Teilchen- und Energiestroms auf das Substrat beim stationären reaktiven Pulssputtern mit dem Doppelringmagnetron
  Bert Scheffel Untersuchungen zum diffusen katodischen Vakuumbogen bei der plasmaaktivierten Hochratebedampfung
1999 Christoph Metzner Untersuchungen zur Hochrate-Elektronenstrahl-Verdampfung von dreikomponentigen Legierungen
1998 Olaf Röder Entwicklung eines Elektronenbandstrahlers für die Polymerisation dünner Kunststoffschichten. Development of an electron gun for thin plastics film polymerisation.
  Henry Morgner Untersuchungen zur Hochrate-Bedampfung von Kunststoffen mit Aluminiumoxid
1997 Olaf Zywitzki Einfluß von Substrattemperatur und Plasmaaktivierung auf Struktur und Eigenschaften von PVD-Al2O3-Schichten
  Volker Kirchhoff Untersuchungen der optischen Plasmaemission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
1996 Gösta Mattausch Untersuchungen zu glasartigen Eigenschaften von Relaxorferroelektrika bei tiefen Temperatoren
  Frank Milde Untersuchungen zur Plasma- und Ionenstrahlbehandlung von Polymerfolien
1995 Nicolas Schiller Röntgenspektrometrische in-situ Analyse der Schmelzbadzusammensetzung in Elektronenstrahlanlagen hoher Leistung