Workshop  /  21. Mai 2012  -  22. Mai 2012

Festkörperphysikalische Grundlagen und Technologien

Vortrag


Dr. M. Junghähnel
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

»Hochrateabscheidung von TCOs auf der Basis von ZnO und TiO2 durch Sputtern von oxidischen Rohrtargets«

22.05., 15:10 Uhr