Jahresbericht 2023/24

© Fraunhofer FEP / Fotograf: Ronald Bonß

Werte Partner des Fraunhofer FEP,
werte Leserinnen und Leser,

2023 war weltweit ein krisengeschütteltes Jahr, das viele große Herausforderungen mit sich brachte – von politischen Unruhen und Konflikten bis hin zu Naturkatastrophen – die in einer vielfältigen und komplexen wirtschaftlichen Unsicherheit mündeten. Doch trotz aller Hürden können wir am Fraunhofer FEP auf viele positive Entwicklungen zurückblicken und so manche Herausforderung brachte auch Chancen mit sich.

Unser herausragendes Energiemanagement und ein seit Jahren vorausschauender Umbau auf nachhaltige Energieversorgungslösungen, wie Photovoltaikmodule zur autonomen Stromerzeugung, Nutzung von Abwärme unserer Großanlagen zur Beheizung von Büro und Laborflächen und intelligente Lösungen zur dezentralen Energieeinsparung, haben uns trotz steigender Energiepreise zu einem guten Start in dieses Jahr verholfen. Dank erfolgreicher Akquise von zahlreichen Industrieaufträgen und öffentlich geförderten Projekten durch das Team des Fraunhofer FEP konnten wir ein ausgeglichenes wirtschaftliches Jahresergebnis erzielen.

Im April haben wir die Institutsstrategie den externen Auditoren aus Wirtschaft, Wissenschaft und Politik vorgestellt. Regelmäßige Strategie-Reviews sind in der Fraunhofer-Gesellschaft üblich. Die Vorbereitungen begannen im Herbst 2022 und umfassten mehrere Workshops, in denen interdisziplinäre Teams und einzelne Geschäftsbereiche des Instituts eingebunden waren. Der Strategiebericht umfasste die übergreifende Institutsvision und die Schwerpunkte Nachhaltigkeit, Personal, Digitalisierung und wissenschaftliche Exzellenz. Darüber hinaus legten die Geschäftsbereiche Plasmatechnologie, Elektronenstrahltechnologien und Medizinisch-biotechnologische Applikationen detaillierte Strategiepläne vor. Mit dem Strategie-Audit 2023 wurde ein fortlaufender Prozess angestoßen, in dem das Fraunhofer FEP die strategische Ausrichtung des Instituts jährlich überprüfen und überarbeiten wird, inklusive dem größeren Review alle fünf Jahre. In einem sehr konstruktiven Austausch mit den externen Beratern und Auditoren wurde unsere strategische Ausrichtung bestätigt und die Instrumente für zukünftige Strategieevaluierungen definiert. In Zukunft werden wir bei der laufenden strategischen Überprüfung des Instituts auf diesem Audit aufbauen. Wir bedanken uns bei allen beteiligten Kolleginnen und Kollegen, unseren externen Beratern und Auditoren für die Unterstützung und die konstruktive Diskussion. Im Ergebnis werden wir am Fraunhofer FEP unsere bisherigen Stärken und Alleinstellungsmerkmale ausbauen und das Institut strategisch auf aktuelle und neue Märkte ausrichten.

Unsere Technologieentwicklungen – besonders im Bereich der Beschichtung flexibler Produkte, wie Folien oder Ultradünnglas – erobern zunehmend Anwendungen im Bereich des nachhaltigen Bauens. Im Rahmen mehrerer EU-Projekte, unter anderem zur Entwicklung thermo- und elektrochromer Beschichtungen für den Gebäudebereich, konnten wir wichtige Grundlagen schaffen. Die Prototypen smarter Fenster, als Beitrag zur Senkung des Energieverbrauches in Gebäuden, und hydrophile Schichten auf Ultradünnglas aus den Projekten Switch2Save, NewSkin und FLEX-G 4.0, stießen auf unserer ersten Beteiligung auf der Messe BAU 2023 in München auf sehr große Resonanz. Neben den öffentlich geförderten Projekten führt die kontinuierliche Vorlaufentwicklung mit führenden Industriepartnern zu weiteren zukunftsweisenden Fortschritten im Bereich der Nachhaltigkeit.

Nach den ersten Jahren hat sich die Arbeitsgruppe Sputterepitaxie am Fraunhofer FEP etabliert. Bereits zum zweiten Mal veranstaltete unser Institut einen Online-Workshop mit zahlreichen internationalen Experten und bot eine Plattform für den Austausch aktueller Forschungsergebnisse. Wir freuen uns darauf, unsere technologische Plattform und unser Partnernetzwerk auf diesem Gebiet in den kommenden Jahren weiter auszubauen.

In der Entwicklung von Elektronenstrahltechnologien für die Anwendung in der Wasserstofftechnologie sehen wir ein enormes Potenzial, um die Energiewende zu unterstützen. Als ein Beispiel für eine der vielen Aktivitäten in diese Richtung haben wir im vergangenen Jahr die ersten Bipolarplatten beschichtet und unsere Anlagentechnik dafür optimiert. Unser Technologieangebot zur Herstellung, Speicherung und Verarbeitung von Wasserstoff für die Energiewende haben wir im Rahmen unserer Netzwerkaktivitäten, z. B. im Fraunhofer-Wasserstoffnetzwerk oder mit dem sächsischen Cluster HZwo e. V., sehr aktiv präsentiert und auch auf regionalen und internationalen Konferenzen und Messen in Dresden und Brüssel erstmals vorgestellt.

Bereits seit einigen Jahren ist das Fraunhofer FEP für die Geschäftsstelle des Geschäftsbereichs Reinigung bei Fraunhofer verantwortlich. Dieses Jahr war für alle Mitglieder ein Besonderes. Der Geschäftsbereich Reinigung feierte sein 20-jähriges Jubiläum. Die Feierlichkeiten fanden auf der
parts2clean mit zahlreichen Aktionen und Fachbeiträgen sowie einem Jubiläumsfrühstück ihren Höhepunkt.

Ein weiteres Highlight gab das Institut im Sommer bekannt. Die Kolleginnen und Kollegen des Bereichs Mikrodisplays und Sensoren realisierten im vom Sächsischen Staatsministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr SMWA geförderten Projekt Backplane erstmals OLED-Mikrodisplays in einer 28-Nanometer-Backplane-Technologie auf 300-mm-Wafern. Damit konnten Bauelemente mit einer Displaydiagonale von 0,18 Zoll und Pixelgrößen von nur 2,5 Mikrometern hergestellt werden. Das entspricht einer bis dato unerreichten Größe am weltweiten OLED-Mikrodisplaymarkt und ist damit Weltrekord.

Unsere Kompetenzen im Bereich der medizinischen und biotechnologischen Anwendungen unter Nutzung der vielfältigen Wirkungen von Elektronenstrahlen flossen 2023 auch wieder in Projekte ein. Der Ausbau unserer S1/S2-Anlagen zur Validierung dieser Prozesse und Technologien ist nun in neuen Laboren in unserem neu fertiggestellten Gebäude möglich, in dem die Aktivitäten für Elektronenstrahltechnologien für umwelttechnische, medizinische, ökologische und nachhaltige Anwendungen untergebracht werden. Um eine solide Basis für diese Aktivitäten zu schaffen, wurden organisatorische Anpassungen vorgenommen, um das Synergiepotenzial im Institut zu erhöhen.

Wir nutzen den Schwung dieses ereignisreichen Jahres, um im kommenden Frühjahr mit der offiziellen Einweihung des neuen Gebäudes auf dem RESET-Campus (Ressourcenschonende Energietechnologien) ins Jahr 2024 zu starten.

Ich bedanke mich bei allen Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern sowie bei unseren Förderern und Partnern aus Industrie und Wissenschaft für das anhaltend große Vertrauen, die Unterstützung und die Zusammenarbeit und ein fantastisches Jahr angesichts der zahlreichen externen Herausforderungen, denen wir uns gemeinsam gestellt haben!

In unserem Jahresbericht gehen wir ausführlich auf die Highlights der letzten zwölf Monate ein. Viel Spaß beim Lesen und ich freue mich auf eine weiterhin gute Zusammenarbeit!

Aus der Forschung

Finanzierung

Das Fraunhofer FEP konnte durch direkte Aufträge aus der Industrie 11,6 Mio. € erwirtschaften. Aus öffentlichen Projekten, gefördert von EU, Bund und Ländern, wurden Erträge in Höhe von 6,2 Mio. € erzielt. Davon konnte ein Anteil in Höhe von 1,4 Mio. € durch öffentlich geförderte Projekte gemeinsam mit mittelständigen Unternehmen eingeworben werden. Der Grundfinanzierungsverbrauch lag bei 12,8 Mio. € im Betriebshaushalt.

Personalentwicklung

Im vergangenen Jahr waren 196 Mitarbeitende, davon 9 Auszubildende, und zusätzlich 18 Praktikanten sowie 54 wissenschaftliche Hilfskräfte im Institut tätig. Von den 72 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern, die als Wissenschaftler beschäftigt waren, arbeiteten 11 Mitarbeitende zusätzlich an ihren Promotionsthemen. Der Frauenanteil im Wissenschaftsbereich betrug 25 Prozent.

Investitionsaufwand

Der Gesamtaufwand aus Betriebs- und Investitionshaushalt betrug 30,7 Mio. €. Im Betrachtungszeitraum wurden 2,1 Mio. € in Gerätetechnik, Bau und Infrastruktur investiert.

Personal- und Sachaufwand

Der Anteil der Personalaufwendungen belief sich auf 15,4 Mio. €, dies entspricht 53,9 Prozent des Betriebshaushalts in Höhe von 28,6 Mio. €. Der Sachaufwand betrug 13,2 Mio. €.

Jahr
Year
Titel/Autor:in
Title/Author
Publikationstyp
Publication Type
2023 Sputter deposition via double ring magnetrons; superior reactive and process control for high rate metal, oxide and nitride films
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Neidhardt, Jörg
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 A Fully Integrated Miniaturized Optical Biosensor for Fast and Multiplexing Plasmonic Detection of High‐ and Low‐Molecular‐Weight Analytes
Bolognesi, Margherita; Prosa, Mario; Törker, Michael; Lopez Sanchez, Laura; Wieczorek, Martin; Giacomelli, Caterina; Benvenuti, Emilia; Pellacani, Paola; Elferink, Alexander; Morschhauser, Andreas; Sola, Laura; Damin, Francesco; Chiari, Marcella; Whatton, Mark; Haenni, Etienne; Kallweit, David; Marabelli, Franco; Peters, Jeroen; Toffanin, Stefano
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Hemocompatibility tuning of an innovative glutaraldehyde-free preparation strategy using riboflavin/UV crosslinking and electron irradiation of bovine pericardium for cardiac substitutes
Dittfeld, Claudia; Welzel, Cindy; König, Ulla; Jannasch, Anett; Alexiou, Konstantin; Blum, Ekaterina; Bronder, Saskia; Sperling, Claudia; Maitz, F. Manfred; Tugtekin, Sems-Malte
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Towards in-line real-time characterization of roll-to-roll produced ZTO/Ag/ITO thin films by hyperspectral imaging
Dogan-Surmeier, Susanne; Gruber, Florian; Maurer, Christian; Bieder, Steffen; Schlenz, Patrick; Paulus, Michael; Albers, Christian; Schneider, Eric; Thiering, Nicola; Tolan, Metin; Wollmann, Philipp; Cornelius, Steffen; Sternemann, Christian
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Mucosal Application of a Low-Energy Electron Inactivated Respiratory Syncytial Virus Vaccine Shows Protective Efficacy in an Animal Model
Eberlein, Valentina; Ahrends, Mareike; Bayer, Lea; Finkensieper, Julia Charlotte; Besecke, Joana Kira; Mansuroglu, Yaser; Standfest, Bastian; Lange, Franziska; Schopf, Simone; Thoma, Martin; Dressman, Jennifer Joy; Hesse, Christina; Ulbert, Sebastian; Grunwald, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Dünnschichttechnologien für die Energiewende
Fahland, Matthias; Steiner, Cindy; Schott, Marco
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Time Series Analysis in Vacuum Roll to Roll Coating Technology
Fahland, Matthias; Top, Michiel; Vogt, Tobias
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Photoindziert hydrophile Schichten von der Rolle
Fahland, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Energy-saving potential of thermochromic coatings in transparent building envelope components
Fahland, Matthias; Szelwicka, Jolanta; Langgemach, Wiebke
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Energie sparen mit smarten Beschichtungen
Fahland, Matthias; Steiner, Cindy; Schott, Marco
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Combination of Organic and Inorganic Semiconductor for Sensing Applications
Fehse, Karsten; Törker, Michael; Schlebusch, Dirk; Brenner, Stephan; Baumgarten, Judith; Rolle, Martin; Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Vogel, Uwe
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 Apicomplexan parasites are attenuated by low-energy electron irradiation in an automated microfluidic system and protect against infection with Toxoplasma gondii
Finkensieper, Julia Charlotte; Mayerle, Florian; Rentería-Solís, Zaida; Fertey, Jasmin; Rodrigues Makert dos Santos, Gustavo; Lange, Franziska; Besecke, Joana Kira; Schopf, Simone; Poremba, Andre; König, Ulla; Standfest, Bastian; Thoma, Martin; Daugschies, Arwid; Ulbert, Sebastian
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 ENAMEL
Franke, Volker; Gruber, Florian; Zywitzki, Olaf; Fuchs, Theobald
Aufsatz in Buch
Book Article
2023 The SCALEX facility - an apparatus for scaled fluid dynamical experiments
Ghazijahani, Mohammad Sharifi; Kästner, Christian; Valori, Valentina; Thieme, Alexander; Täschner, Kerstin; Schumacher, Jörg; Cierpka, Christian
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Design of step-graded AlGaN buffers for GaN-on-Si heterostructures grown by MOCVD
Ghosh, Septarsi; Hinz, Alexander Martin; Frentrup, Martin; Alam, Saiful; Wallis, David J.; Oliver, Rachel A.
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Sterilisation von Medizinprodukten, zwischen Tradition und Innovation
Gotzmann, Gaby; Kenner, Lysann; König, Ulla
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Antifouling-Beschichtungen per Elektronenstrahl
Gürtler, Nic; König, Ulla
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Slim Backlights for Holographic 3D Displays by Advanced Coatings Capabilities
Hartung, Ullrich; Glöß, Daniel; Neidhardt, Jörg; Drescher, Andy; Sahm, Hagen; Büttner, Philipp
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 High-Rate Sputter Etching of Substrates Using Hollow-Cathode Arc Discharge Sources
Heinß, Jens-Peter; Klose, Lars
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Vacuum Deposition of Aluminum Alloys with 1 µm/s on Different Types of Semi-finished Products
Heinß, Jens-Peter
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 Investigation of the Chemical Durability and Thermal Impact on Functional Coated Surfaces
Krauss, Luisa; Schab, Richard; Unz, Simon; Beckmann, Michael; Püttmann, Jan; Krug, Mario; Nizard, Harry; Glöß, Daniel
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Optische Schichten und ihr Einfluss auf die Belastbarkeit flexibler Gläser
Langgemach, Wiebke; Lorenz, Georg; Täschner, Kerstin; Neidhardt, Jörg
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Nanoscale Thermometry of Plasmonic Structures via Raman Shifts in Copper Phthalocyanine
Li, Pan; Askes, Sven H.C.; Del Pino Rosendo, Esther; Freek, Ariese; Ramanan, Charusheela; Hauff, Elizabeth von; Baldi, Andrea
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Ringförmige Vorrichtung zum Erzeugen von beschleunigten Elektronen
Mattausch, Gösta; Zimmermann, Burkhard; Kubusch, Jörg; Blüthner, Ralf; Dincklage, Lars; Dominok, Severin; Flaske, Henrik; Lorenz, Ludwig; Meyer, Björn; Top, Michiel
Patent
2023 High-performance AlOx thin films for next generation sustainable packaging: Part 2
Morrison, Neil; Campo, Manuel; Verghese, Raj; Straach, Steffen
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 High-performance AlOx thin films for next generation sustainable packaging: Part 1
Morrison, Neil; Campo, Manuel; Crouch, Tarquin; Verghese, Raj; Straach, Steffen
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Homogeneity of Nanoparticle Layers as Deposited by Gas Phase Condensation (Gpc) and Pe-Cvd Processes
Nizard, Harry; Rauer, Sebastian; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Modes, Thomas; Gerlach, Gerald; Neidhardt, Jörg; Zukauskaite, Agne; Hauff, Elizabeth von
Paper
2023 Energy dispersive X-ray spectroscopy and spectroscopic ellipsometry for the investigation of ScAlN for applications in microsystems technology
Petrich, Rebecca; Slimi, Younes; Krischok, Stefan; Tonisch, Katja; Honig, Hauke; Steinacker, Lorenz; Schaaf, Peter; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Kuhnen, Raphael; Fruehauf, Dietmar
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 Influence of Si(111) substrate off-cut on AlN film crystallinity grown by magnetron sputter epitaxy
Pingen, Katrin; Neuhaus, Stefan; Wolff, Niklas; Kienle, Lorenz; Zukauskaite, Agne; Hauff, Elizabeth von; Hinz, Alexander Martin
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Neue In-situ-Messverfahren für hohe Prozesstemperaturen
Preußner, Thomas; Klein, Marcus; Graf, Annett
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Multi-Source-CT for inline inspection of extruded profiles
Rettenberger, Simon; Landstorfer, Peter; Herl, Gabriel; Meyer, Björn; Mattausch, Gösta; Labitzke, Rainer
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 20 Jahre aktiv für die industrielle Teilereinigung
Rögner, Frank-Holm
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Historical Paper Documents
Rögner, Frank-Holm; Schottner, Gerhard; Grählert, Wulf; Gruber, Florian; Fuchs, Theobald; Hügle, Johannes
Aufsatz in Buch
Book Article
2023 High-Performance Anodes Made of Metallic Lithium Layers and Lithiated Silicon Layers Prepared by Vacuum Technologies
Saager, Stefan; Decker, Ludwig; Kopte, Torsten; Scheffel, Bert; Zimmermann, Burkhard
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Prozessoptimierung während der Rolle-zu-Rolle-Beschichtung
Schedwill, Ines
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Diamond-Like Films of Tetrahedral Amorphous Carbon Deposited by Anodic Arc Evaporation of Graphite
Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Kopte, Torsten
Paper
2023 Advances in electron beam technology for environmental and biotechnological applications at Fraunhofer FEP
Teichmann, Tobias; Dincklage, Lars; Schaap, Lotte Ligaya; Schreuder, David; Blüthner, Ralf; Winckler, Falk; Schopf, Simone; König, Ulla; Zimmermann, Burkhard; Mattausch, Gösta
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Konzeptionierung und Untersuchungen zu einer kompakten Low-Power Datenbrille mit OLED-Mikrodisplay
Thon, Christian
Master Thesis
2023 Thermal conductivity of ScxAl1-xN and YxAl1-xN alloys
Tran, Dat Q.; Tasnádi, Ferenc; Zukauskaite, Agne; Birch, Jens; Darakchieva, Vanya
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Quantifying electrochemical losses in perovskite solar cells
Tulus, Tulus; Wang, Junke; Galagan, Yulia; Hauff, Elizabeth von
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Vorrichtung zum Beschichten eines bandförmigen Substrates mit einer Parylene-Schicht
Törker, Emmy; Selbmann, Franz; Top, Michiel
Patent
2023 Innovative Sensorik für Lebensmittelsicherheit und Qualität
Törker, Michael
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Multi Sensor Integrated Adaptive Headlights for Robust Drive Assistant Systems
Vogel, Sönke; Täschner, Kerstin; Schepers, Maurice; Weyer, Sara
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Multi-Sensor-integrierte adaptive Scheinwerfer für robuste Fahrerassistenzsysteme
Vogel, Sönke; Täschner, Kerstin; Schepers, Maurice; Weyer, Sara
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 A System Dynamics Approach to Technological Learning Impact for the Cost Estimation of Solar Photovoltaics
Wang, Rong; Hasanefendic, Sandra; Hauff, Elizabeth von; Bossink, Bart
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 OLED-on-Silicon for microdisplays in near-to-eye applications and optoelectronic sensing
Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Baumgarten, Judith; Fritscher, Andreas; Brenner, Stephan; Lenk, Simone; Damnik, Steffen; Rolle, Martin; Zeltner, Johannes; Schmidt, Christian; Mütze, Josephine; Schlebusch, Dirk; Fehse, Karsten; Törker, Michael; Schuster, Florian; Vogel, Uwe
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 High-brightness OLED-on-silicon on semitransparent CMOS backplane for advanced near-to-eye microdisplays
Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Brenner, Stephan; Zeltner, Johannes; Schmidt, Christian; Baumgarten, Judith; Fritscher, Andreas; Lenk, Simone; Rolle, Martin; Törker, Michael; Vogel, Uwe
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 Organic-on-silicon photonic platform for advanced imagers, microdisplays and sensors
Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Brenner, Stephan; Baumgarten, Judith; Lenk, Simone; Fehse, Karsten; Schlebusch, Dirk; Törker, Michael; Fritscher, Andreas; Zeltner, Johannes; Schmidt, Christian; Rolle, Martin; Damnik, Steffen; Mütze, Josephine; Schuster, Florian; Vogel, Uwe
Konferenzbeitrag
Conference Paper
2023 A 2.5µm Dot Pitch 0.18” OLED Microdisplay on 28nm CMOS Backplane
Wartenberg, Philipp; Fritscher, Andreas; Richter, Bernd; Bunk, Gerd; Damnik, Steffen; Schuster, Florian; Schlebusch, Dirk; Rolle, Martin; Brenner, Stephan; Zeltner, Johannes; Vogel, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Vorrichtung zum Beaufschlagen von Schüttgut mit beschleunigten Elektronen
Weidauer, André; Süß, Christian; Mattausch, Gösta; Kubusch, Jörg; Blüthner, Ralf; Flaske, Henrik; Eyßler, Sebastian; Hannenheim, Hannes Stefan
Patent
2023 Roadmap on Energy Harvesting Materials
Zukauskaite, Agne; Barth, Stephan; et al.
Zeitschriftenaufsatz
Journal Article
2023 Piezoelectric Aluminium Scandium Nitride (AIScN) Thin Film
Zukauskaite, Agne
Buch
Book
2023 Editorial for Special Issue "Piezoelectric Aluminium Scandium Nitride (AlScN) Thin Films: Material Development and Applications in Microdevices"
Zukauskaite, Agne
Editorial
2023 Antifouling-Beschichtungen per Elektronenstrahl
Note
Diese Liste ist ein Auszug aus der Publikationsplattform Fraunhofer-Publica

This list has been generated from the publication platform Fraunhofer-Publica

Patentnummer

Titel

Erfinder / -in

Anmeldung

Erteilung

DE 10 2014 110 835 B1 Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrates innerhalb einer Vakuumkammer B. Scheffel, C. Metzner, H. Morgner, B. Finkenwirth, F. Händel 31.07.2017 05.01.2023
DE 10 2021 127 146 B3 Vorrichtung zum Beaufschlagen von Schüttgut mit beschleunigten Elektronen G. Mattausch, R. Blüthner, H. Flaske, V. Kirchhoff, J. Kubusch 19.10.2021 23.02.2023
TW 1794249 B Multi-Layer Functional Film and Production Method thereof J. Fahlteich, N. Prager, M. Fahland, O. Zywitzki, V. von Morgen, R. Eveson 27.06.2018 01.03.2023
DE 10 2021 127 147 B3 Vorrichtung zum Beaufschlagen von Schüttgut mit beschleunigten Elektronen G. Mattausch, R. Blüthner, H. Flaske, J. Kubusch, L. Dincklage, F. Winckler, T. Schumpa 19.10.2021 02.03.2023
DE 10 2021 111 097 B4 Hohlkathodensystem zum Erzeugen eines Plasmas und Verfahren zum Betreiben eines solchen Hohlkathodensystems G. Mattausch, B. Meyer, H. Flaske, V. Kirchhoff, S. Weiss, R. Labitzke, B. Zimmermann, J. Kubusch 29.04.2021 06.04.2023
KR 10-2520785 B1 Method for Adjusting the Emission of an OLED E. Bodenstein, C. Metzner, U. Vogel, M. Schober, S. Saager 17.08.2018 07.04.2023
CN 112789060 B Method for Inactivating Biologically Active Components in a Liquid A. Weidauer, G. Gotzmann, V. Kirchhoff, J. Kubusch, C. Wetzel, J. Schönfelder 01.04.2021 07.02.2023
KR 10 2568659 B1 Multi-Layer Functional Film and Production Method thereof J. Fahlteich, N. Prager, M. Fahland, O. Zywitzki, V. von Morgen, R. Eveson 26.06.2018 22.08.2023
DE 10 2021 130 776 B4 Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Flüssigkeit T. Martin, J. Casado-Portillo, F.-H. Rögner, A. Poremba 24.11.2021 07.09.2023
CN 110997321 B Multi-Layer Functional Film and Production Method thereof J. Fahlteich, N. Prager, M. Fahland, O. Zywitzki,
V. von Morgen, R. Eveson
26.06.2018 01.09.2023
US 11,802,271 B2 Method for Irradiation mammalian Cells with Electron Beam and/or X-Rays F.-H. Rögner, S. Ulbert, J. Burkhardt, J. Portillo, J. Schönfelder 16.09.2019 31.10.2023
EP 3 924 307 B1 Method for Increasing the Strength of a Glass Substrate M. Junghähnel, J. Westphalen, T. Preussner, W. Walther 13.02.2020 06.12.2023
US 11,839,484 B2 Method and Device for the objective Determination of Capillary Refill Behavior on a Human Body Surface U. Vogel, B. Richter, T. Richter 28.05.2021 12.12.2023