Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEPWir entwickeln Prozesse und Technologien, um elektrische, optische, akustische oder magnetisch wirksame Schichten und Schichtsysteme mit Vakuumverfahren präzise und homogen auf große Flächen aufzubringen. So legen wir die Grundlagen für neue Produkte in den Branchen Optik, Elektronik und Sensorik, Photovoltaik, Display, Speichermedien sowie Biomedizintechnik.
Für unsere Kunden entwickeln wir kostengünstige Technologien zur Herstellung innovativer Produkte, für die die Kombination verschiedener Schichteigenschaften die Produkteigenschaften wesentlich bestimmen. Die langzeitstabilen Sputterprozesse eignen sich für die Herstellung von Präzisionsschichtsystemen.
Unsere Leistungen umfassen die angepasste Entwicklung von Schlüsselbaugruppen, Verfahren und Schichtsystemen, die Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen in unseren Labor- und Pilotanlagen sowie die Aufskalierung der Verfahren und Überführung integrierter Pakete aus Hardware und Technologie in die Produktion.
Das Geschäftsfeld Präzisionsbeschichtung vereinigt vier Arbeitsgruppen aus den Bereichen Sheet-to-Sheet Technologien und der Präzisionsbeschichtung mit folgenden Themenschwerpunkten:
SiO2 als Passivierungsschicht für Dünnschichtwiderstände
Superhydrophile Titandioxid-Schicht (rechts)
Oberflächenwellen (SAW)-Bauelemente
