Jahresbericht 2020/21

Foto: Aluminium-beschichtetes Granulat, als Schüttung und gesintert.

Jahresbericht 2020/21

 

Werte Partner des Fraunhofer FEP, werte Leserinnen und Leser,

das Jahr 2020 wird durch die Corona-Pandemie allen Menschen noch lange als eines der herausforderndsten im Gedächtnis bleiben. Die Fraunhofer-Gesellschaft und unser Institut stellten sich im Frühjahr rasch den neuen Anforderungen. Dabei war und ist uns das Wohl unserer Mitarbeiter und Kunden wichtig.

Ein großer Dank gilt unseren Mitarbeitenden, die gemeinsam, ob im Home-Office oder an unseren Forschungsanlagen vor Ort, in diesen schwierigen Zeiten unseren Forschungsauftrag aufrechterhalten und Projekte vorangebracht haben. Gleichzeitig wurden während des Lockdowns im Institut herausragende Ideen zur Bekämpfung und Erforschung des neuartigen Corona-Virus erarbeitet, die in einer Reihe von vielversprechenden Projekten gemeinsam mit weiteren Partnern mündeten: das EU-Projekt INNO4COV19, Next-Generation Schutztextilien oder die Entwicklung mobiler Reinigungsroboter zur Flächendesinfektion. Unsere langjährige Expertise in der Sterilisation mit beschleunigten Elektronen und deren Anwendung in unseren Rolle-zu-Rolle-Anlagen oder auch der Identifikation von infizierten Personen über augennahe Visualisierung mit OLED-Mikrodisplays und Sensoren werden in diese Projekte eingebracht.

Neben diesen Forschungstätigkeiten brachte 2020 natürlich auch auf allen anderen Arbeitsebenen neue Perspektiven mit sich. Angefangen beim gemeinsamen Arbeiten über digitale Formate bis hin zu ersten Veranstaltungen in „hybrider“ Ausführung mit Präsenzteilnehmern und zugeschalteten Partnern unter Einhaltung der Hygienebestimmungen an unserem Institut. So konnte das Fraunhofer FEP Gastgeber der 1. Projektwerkstatt „Technologien für Hygiene“ in Zusammenarbeit mit der Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH sein. Ebenso bieten wir inzwischen Workshops und Fachkonferenzen (wie das parts2clean Online Forum gemeinsam mit der Deutschen Messe AG) sehr erfolgreich digital an, um weiterhin als kompetenter Partner mit Fachbeiträgen und Angeboten zur Verfügung zu stehen und ausgefallene Präsenzformate zu kompensieren.

Darüber hinaus zeigt das Jahr 2020 für das Institut ein sehr gutes EU-Projektportfolio. Der Bearbeitungsumfang liegt bei ca. 2,5 Mio. Euro bzw. 9,7 % Ertragsanteil. Im Fraunhofer-Vergleich stellt dies einen signifikant hohen Anteil dar. Nahezu alle Bereiche erarbeiten in EU-Projekten in den nächsten Jahren vielfältige Lösungen, z.B. für die bessere Verfügbarkeit von smarten Glaslösungen für energieeffiziente Gebäude, für perowskit-basierte Beleuchtung und an der Entwicklung eines Innovations-Hubs für nachhaltige Kunststoff- und Papieroberflächen. Gemeinsam mit sächsischen, deutschen und internationalen Partnern entwickeln wir in vielen Projekten innovative Beschichtungstechnologien, z.B. für Zeolith als effizientes Energiespeichermaterial oder Sensoren und OLED-Mikrodisplays für Produkte der Zukunft.

Die zahlreichen neuen Lösungsansätze und Kooperationen sowie die enge Vernetzung mit unseren langjährigen Kunden, Partnern und Fördergebern im Jahr 2020 lassen uns nun trotz dieses besonderen Jahres positiv und optimistisch in die Zukunft blicken.

Wir danken allen Fördergebern, Kunden, Mitarbeitenden und Wegbegleitern für die vertrauensvolle Zusammenarbeit und wünschen Ihnen viel Freude beim Lesen!

Finanzierung

Das Fraunhofer FEP konnte durch direkte Aufträge aus der Industrie 9,3 Mio. € erwirtschaften. Aus öffentlichen Projekten, gefördert von EU, Bund und Ländern, wurden Erträge in Höhe von 10,5 Mio. € erzielt. Davon konnte ein Anteil in Höhe von 4,8 Mio. € durch öffentlich geförderte Projekte gemeinsam mit mittelständigen Unternehmen eingeworben werden. Der Grundfinanzierungsverbrauch lag bei 5,8 Mio. €, davon 4,3 Mio. € im Betriebshaushalt.

Mitarbeiterentwicklung

Im vergangenen Jahr waren 182 Mitarbeitende, davon 3 Auszubildende, und zusätzlich 30 Praktikanten sowie 65 wissenschaftliche Hilfskräfte im Institut tätig. Von den 70 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern, die als Wissenschaftler beschäftigt waren, arbeiteten 8 Mitarbeitende zusätzlich an ihren Promotionsthemen. Der Frauenanteil im Wissenschaftsbereich betrug 22 Prozent.

 

Investitionsaufwand

Der Gesamtaufwand aus Betriebs- und Investitionshaushalt betrug 25,6 Mio. €. Im Betrachtungszeitraum wurden 1,4 Mio. € in Gerätetechnik, Bau und Infrastruktur investiert.

 

Personal- und Sachaufwand

Der Anteil der Personalaufwendungen belief sich auf 13,7 Mio. €, dies entspricht 57 Prozent des Betriebshaushalts in Höhe von 24,1 Mio. €. Der Sachaufwand betrug 8,6 Mio. €.

Flexible Produkte

© VTT Technical Research Centre of Finland

Projekt "Smart2Go"

Das Fraunhofer FEP koordiniert seit 2019 das EU-Projekt Smart2Go. Thema des Vorhabens ist die Entwicklung einer universellen Plattform für die Energieversorgung tragbarer elektronischer Anwendungen. Ein Projektpartner ist die Firma VARTA, die eine flexible Batterie mit einer Dicke von weniger als einem Millimeter beisteuert. Diese wird gespeist durch verschiedene Varianten von Energy-Harvesting-Technologien, die je nach verfügbarer Energiequelle frei gewählt und mit der Plattform verbunden werden können.

Die Integration aller Komponenten hat ein finnisches Forschungszentrum übernommen. Zwei Endanwender werden die Plattform für die nächste Generation ihrer Produkte testen. Das Fraunhofer FEP selbst entwickelt flexible, segmentierte OLED-Leuchtelemente für die Integration in Textilien.

Darüber hinaus arbeiten unsere Wissenschaftler an der Entwicklung einer passenden Verkapselungstechnologie. Entscheidend hierfür ist die Erreichung einer hohen mechanischen Robustheit mittels einer neuen Laminiertechnologie, ohne die anspruchsvolle Schutzfunktion zu beeinträchtigen.

Ansprechpartner

Dr. Matthias Fahland
Telefon +49 351 2586 135
matthias.fahland[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Beschichtung von metallischen Platten und Bändern, Energietechnik

© luchschenF / shutterstock

Projekt "Neptun"

Im Projekt „Neptun“, welches im Jahr 2020 sehr erfolgreich weitergeführt werden konnte, wurden grundlegende Untersuchungen neuer Prozesse und Materialien zur Effizienzsteigerung von CdTe-Solarzellen durchgeführt.

Dabei gelang in enger Zusammenarbeit mit dem Projektpartner, der CTF Solar GmbH, eine Steigerung des Wirkungsgrades von CdTe-Solarzellen um ca. 1 %. Die in CdTe-Solarzellen enthaltene CdS-Schicht schwächt das Sonnenlicht im kurzwelligen Bereich. Daher ist die Reduzierung der CdS-Schichtdicke ein Ansatz zur Erhöhung des Wirkungsgrades dieser Solarzellen. Leider wurde bisher bei einer Verringerung der CdS-Schichtdicke nicht nur der Photostrom erhöht, sondern auch die Zellspannung verringert, was im Ergebnis zu keiner Steigerung des Wirkungsgrades führte.

Im Projekt „Neptun“ wurde daher ein neuer Ansatz untersucht. Durch eine gezielte Plasmabehandlung des Basis-Substrates (TCO-beschichtetes Floatglas) im Vakuum konnte die Verringerung der Zellspannung bei Reduzierung der CdS-Schichtdicke verhindert und so eine Erhöhung des Wirkungsgrades erzielt werden.

Ansprechpartner

Dr. Torsten Kopte
Telefon +49 351 2586 120
torsten.kopte[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Entwicklung von Elektronenstrahlsystemen und -technologien

Projekt "DVD III"

Die Arbeitsgruppe von Prof. Haydn Wadley, University of Virginia (USA), hat in den zurückliegenden Jahren eine spezielle Technologie zur Vakuumbeschichtung, vorzugsweise von Bauteilen, Fasern, Schaumstoffen und Pulvern, entwickelt und stetig optimiert, die sich gegenüber konventionellen PVD-Verfahren durch verbesserte Material-ausnutzung und die Fähigkeit zur Dampfabscheidung auch auf Flächen ohne direkten „Sichtkontakt“ zur Dampfquelle auszeichnet. Kernelemente dieser als „Gerichtete Dampf-abscheidung“ (DVD) bezeichneten Technologie sind die kontaminationsfreie Verdampfung des schichtbildenden Materials durch Elektronenstrahlen hoher Leistungsdichte sowie Fokussierung und gerichteter Transport der Dampfteilchen in Trägergas-Jets. Die Beimischung von Reaktivgas sowie die Koverdampfung verschiedener Materialien sind ebenfalls möglich, wobei das Trägergas für eine gleichmäßige Vermischung der Konstituenten sorgt und so die (reaktive) Abscheidung von Verbindungen mit homogener Zusammensetzung befördert. Das Fraunhofer FEP hat zur Umsetzung dieser Verfahrensidee mit speziellen Elektronen-strahl- und Plasmaquellen für den Fein- und Grobvakuum-bereich beigetragen.

Ein gewisser Nachteil des DVD-Verfahrens besteht darin, dass der erhöhte Arbeitsdruck zu Streuung und Energieverlust der Dampfteilchen führt, was die Schichtbildung ungünstig beeinflusst. Durch Plasmaaktivierung lassen sich diese Probleme jedoch überwinden und Schichten in der gewünschten Morphologie abscheiden. Dies ist durch die Plasmaparameter steuerbar, wobei die Richtcharakteristik des Dampfstromes nicht beeinträchtigt werden darf und universelle Anwendbarkeit auf eine breite Materialpalette gefordert ist. Für „DVD III“ wurde deshalb eine „Multi-Jet-Hohlkathode“ entwickelt. Die Aktivierung des Dampfes erfolgt durch vier symmetrisch einwirkende Hohlkathoden-Bogenentladungen, die von nur einer MF-Pulsstromversorgung sequentiell gespeist werden.

Ansprechpartner

Dr. Gösta Mattausch
Telefon +49 351 2586 202
goesta.mattausch[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Beschichtung und Elektronenstrahlbearbeitung von Bauteilen

Wärmespeichermaterialien für die Energiewende

Wärme repräsentiert mehr als die Hälfte des Energieverbrauchs in Deutschland und spielt deshalb für die Energiewende eine entscheidende Rolle. Neben der Minimierung von Wärmeverlusten erfordert die effektive Wärmenutzung geeignete Speicher, um den zeitlichen Versatz von Erzeugung und Bedarf zu überbrücken. Hohe Flexibilität und Speicherkapazität versprechen hier Zeolith-Wärmespeicher, bei denen die Energie in Form von adsorbiertem Wasserdampf im Inneren des hochporösen Materials gebunden ist. Ein bislang nicht gelöstes Problem dieses Speicherkonzepts ist der Wärmeübergang zwischen Speichermaterial und Wärmetauscher. Hohe Übergangswiderstände zwischen Wärme zu- und abführenden metallischen Strukturen und dem als Granulat vorliegenden Zeolith behindern eine effektive Be- bzw. Entladung.

Einen neuen Weg beschreitet das Fraunhofer FEP im Projekt „ZeoMet“: Zeolith-Granulat wird in einem Drehtrommelverfahren im Vakuum metallisiert und erhält so eine dünne Aluminium-Schicht (< 0,1 mm), welche eine hohe thermische Leitfähigkeit und gleichzeitig genügend Poren aufweist, dass das Grundmaterial für Wassermoleküle zugänglich und die Sorptionskapazität des Granulats erhalten bleibt. Damit ist der Wärmeübergang an der Be- und Entladestelle ebenso gesichert wie der Wärme- und Stofftransport in der Schüttung zwischen den metallisierten Pellets. Auch ein Versintern des metallisierten Granulats zu größeren Baueinheiten wird möglich.

Ansprechpartner

Dr. Fred Fietzke
Telefon +49 351 2586 366
fred.fietzke[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Präzisionsbeschichtung

Projekt "HiPERFORM"

Im 2018 gestarteten ECSEL-Projekt HiPERFORM arbeitet das Fraunhofer FEP an der Sputterabscheidung epitaktisch gewachsener Aluminiumnitrid- (AlN) und Galliumnitrid- (GaN) Schichten auf (111) Silizium-Substraten. Diese sollen als Puffer-, und perspektivisch auch als aktive Schichten für Bauelemente der Leistungselektronik dienen, die auf dem Halbleiter GaN basieren und auf kostengünstigen Silizium-Wafern abgeschieden werden.

Im Projekt wurden gemeinsam mit den Anlagenherstellern scia Systems GmbH und CREAVAC-Creative Vakuum-beschichtung GmbH anlagentechnische Voraussetzungen für die Sputterabscheidung der Schichten auf 8“ Wafer geschaffen. Dazu zählen sehr gute Vakuumbedingungen, eine hohe Reinheit der Komponenten und die Möglichkeit der Substratheizung auf ca. 900 °C. Am Fraunhofer FEP wurde ein Magnetron-Sputter-Prozess zur Abscheidung der Schichten durch reaktives Sputtern vom Metalltarget im Argon-Stickstoffgemisch bei hohen Abscheideraten von bis zu 2 nm/s entwickelt. Die Röntgenanalyse der ersten AlN-Schichten zeigt das angestrebte epitaktische Schichtwachstum (siehe Abb.).

Ansprechpartner

Dr. Hagen Bartzsch
Telefon +49 351 2586 390
hagen.bartzsch[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Flexible Organische Elektronik

© ronstik / shutterstock, Montage: Fraunhofer FEP

Projekt "MOLOKO"

Die Kombination von Lichtquellen und Lichtdetektoren auf einem kompakten Modul ermöglicht die Durchführung von Reflexions- oder Photolumineszenz-Messungen für Analytikanwendungen. Mit Hilfe der organischen Elektronik lassen sich Photodioden und Leuchtdioden kostengünstig auf einfachen Glassubstraten herstellen. Ein Beispiel für eine Analytikanwendung, die gegenwärtig im Rahmen des EU-Projektes MOLOKO (Multiplex phOtonic sensor for pLasmonic-based Online detection of contaminants in milK) untersucht wird, ist die Analyse von Qualitätsmerkmalen und Schadstoffen in Milch. Dazu wird der Chip mit einem nanostrukturierten plasmonischen Gitter kombiniert, das mit spezifischen Antikörpern versehen ist. Die zu testende Milch wird über ein mikrofluidisches System über den Chip geführt. Mit der OLED-OPD Plattform wird die Änderung der Reflektivität des plasmonischen Gitters gemessen.

Das komplette System besteht aus einem mikrofluidischen, wiederverwendbaren Chip, organischen lichtemittierenden Transistoren (OLET) oder Dioden (OLED), organischen Photodetektoren (OPD) bzw. dem Sensor, einem nanostrukturierten plasmonischen Gitter und den spezifischen Antikörpern. Das Fraunhofer FEP entwickelt den organischen Photodetektor, das Fraunhofer ENAS den mikrofluidischen Chip. Der OLET und das photonische Gitter werden vom CNR-ISMN in Bologna bzw. von der Firma Plasmore Srl in Pavia (Italien) entwickelt.

Erste Ergebnisse aus der Entwicklungsarbeit des optoplasmonischen Chips wurden auf der CES 2020 in Las Vegas präsentiert.

Ansprechpartner

Dr. Christian May
Telefon +49 351 2586 220
christian.may[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Mikrodisplays und Sensorik

© Fraunhofer FEP / Fotografin: Claudia Jacquemin

Projekt "Glass@Service"

Das Fraunhofer FEP arbeitet bei intelligenten Datenbrillen eng mit Industriepartnern zusammen. So z. B. im Verbundprojekt „Glass@Service – Interaktive personalisierte Visualisierung in Industrieprozessen am Beispiel der Digitalen Fabrik“, geführt von der SIEMENS AG Berlin, an dem auch UVEX, Ubimax, DIOPTIC und die Bundesanstalt für Arbeitsschutz- und Arbeitsmedizin (BAuA) beteiligt waren. Ein Nachfolgeprojekt „secureAR – Sichere AR-Serviceplattform für die industrielle Fertigung“ wurde 2020 gestartet. Innerhalb des Projekts „Glass@Service“ hat Fraunhofer FEP ein 0,64“ 720p OLED-Mikrodisplay entwickelt, das sich durch hohe Bildraten, ein hohes Kontrastverhältnis und einen geringen Stromverbrauch auszeichnet. Es bietet eine Auflösung von 1280 × 720 Pixel (Vollfarbe bei vier Subpixeln) mit Dot-Größen von 5,5 × 5,5 μm². Monochrom ist eine viermal höhere Auflösung erreichbar, d. h. 2560 × 1440 Pixel. Pixel-strom und damit Helligkeit können weit variiert werden. Subpixelströme wurden bis 550 nA charakterisiert, was einer Stromdichte von 1,8 A/cm² entspricht.

Im Rahmen des Projekts wurde dieses Mikrodisplay in eine Augmented-Reality (AR)-Datenbrille integriert.

Ansprechpartner

Dr. Uwe Vogel
Telefon +49 351 8823 282
uwe.vogel[at]fep.fraunhofer.de

 

 

Medizinisch-biotechnologische Applikationen

Projekt „BioIntElekt“

Einsatz der niederenergetischen Elektronenstrahltechnologie für innovative biotechnologische Prozesse

Die Biotechnologie gilt als Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts und erobert weltweit rasant ansteigende Marktanteile. Folglich sind Innovationen, die biotechnologische Prozesse effizienter gestalten und neue Anwendungsfelder erschließen, von enormer Bedeutung. Um Deutschland in dieser Branche konkurrenzfähig weiterzuentwickeln, wird die Verknüpfung mit Technikwissenschaften immer wichtiger. Das Projekt strebt deshalb die Nutzbarmachung und Kombination der Elektronenstrahltechnologie in einem neuartigen Hybridsystem an – ein modernes Verfahren für die Stimulierung und effizientere Umsetzung biotechnologischer Prozesse in der Flüssigphase.

Derzeitige konventionelle Elektronenstrahlsysteme weisen Defizite in der Anwendbarkeit auf und die Skalierbarkeit ist unzureichend adaptiv. Das Vorhaben entwickelt eine innovative Plattformtechnologie zur preiswerten Flüssigkeitsbehandlung mit niederenergetischen Elektronen für kundenspezifische biotechnologische Applikationen. Das Alleinstellungsmerkmal der Hybridtechnologie ist der direkte Kontakt zwischen der Elektronenstrahlquelle und der Flüssigkeit, wodurch kaum Energieverluste auftreten. Die Miniaturisierung der in den Bioreaktor integrierten Elektronenstrahlquelle stellt eine Schlüsselkomponente der zukunftsweisenden hybriden Technologie dar und erhöht deren Wirtschaftlichkeit.

Ansprechpartner

Dr. Ulla König
Telefon +49 351 2586 360
ulla.koenig[at]fep.fraunhofer.de

 

Werkstoffkunde / Analytik

Investition in ein neues Rasterkraftmikroskop

Durch die Investition in ein neues Rasterkraftmikroskop NX20 von Park Systems GmbH haben sich die Charakterisierungsmöglichkeiten dünner Schichten am Fraunhofer FEP deutlich verbessert.

Das Gerät verfügt über einen motorisierten XY-Tisch mit einem anfahrbaren Bereich von 150 mm × 150 mm. Die Messungen sind dadurch weitestgehend automatisierbar und mit sehr hoher Effizienz durchführbar.

Im Non-Contact-Mode kann die Rauheit dünner Schichten mit hoher horizontaler und vertikaler Auflösung bestimmt werden. Eine geringe Rauheit wird zum Beispiel für viele optische Schichtsysteme angestrebt, um eine möglichst geringe Lichtstreuung zu erreichen. Ein weiteres wichtiges Anwendungsbeispiel sind Topographie-Abbildungen an epitaktischen Schichten. Durch AFM-Abbildungen kann hier die Art des Schichtwachstums und die Kristallqualität hinsichtlich Gitterdefekten untersucht werden, welche für die Anwendung dieser Schichten entscheidend sind.

Zusätzlich verfügt das Gerät über weitere Modi zur Bestimmung von physikalischen Eigenschaften wie elektrischer Leitfähigkeit, piezoelektrischer Auslenkung oder Elastizitätsmodul, wodurch sich neue, interessante Anwendungsmöglichkeiten ergeben.

Ansprechpartner

Dr. Olaf Zywitzki
Telefon +49 351 2586 180
olaf.zywitzki[at]fep.fraunhofer.de

 

Systeme

Projekt „InnoFlash“

Tempern von dünnen Schichten innerhalb weniger Millisekunden – das ist das große Potenzial von Blitzlampenvernetzung (engl.: Flash Lamp Annealing, FLA). Innerhalb kürzester Zeit wird mittels eines hochenergetischen Lichtblitzes eine hohe Energiedichte auf ein Substrat übertragen, wodurch ein schnelleres Tempern und erhöhter Durchsatz innerhalb dynamischer Sheet-to-Sheet oder auch Rolle-zu-Rolle Beschichtungsprozesse ermöglicht werden. FLA kann zum Beispiel als Alternative für das Tempern von transparenten leitfähigen Oxid-Schichten (TCO) sowie für die Behandlung von Dünnschichtelektronik oder zur Rekristallisation unterschiedlicher Materialien eingesetzt werden.

Für den industriellen Einsatz ist eine zuverlässige Prozessführung zwingend notwendig. Wichtigste Parameter sind die gleichbleibende Energiedichte je Blitz und die Wiederholfrequenz der Blitze. Im Rahmen des Projekts „InnoFlash“ wurde in der Elektronikentwicklung des Fraunhofer FEP ein Lademodul entwickelt, das speziell für die FLA-Anordnung genutzt wird. Es ermöglicht ein hochgenaues Laden des Energiespeichers innerhalb weniger Millisekunden. Diese Neuentwicklung ist eine der Voraussetzungen für die Behandlung großer Flächen mittels FLA.

Dr. Michiel Top

Ansprechpartner

Dr. Michiel Top
Telefon +49 351 2586 355
michiel.top[at]fep.fraunhofer.de

 

T. Kopte, C. Metzner
Moderne Verfahren zur Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Oberflächen POLYSURFACES, Vol. 1, 2020, p. 6 – 9

S. Walker, A. Jakob, C. Dittfeld, J. Schönfelder, U. König, S.-M. Tugtekin
Sterilization and Cross-Linking Combined with Ultraviolet Irradiation and Low-Energy Electron Irradiation Procedure: New Perspectives for Bovine Pericardial Implants in Cardiac Surgery
The Thoracic and Cardiovascular Surgeon, online, 2020, Artikel 1705100

J.-P. Heinß, F. Fietzke
High-rate deposition of thick aluminum coatings on plastic parts for electromagnetic shielding
Surface Coatings & Technology, Vol. 385, 2020, Artikel 125134

G. Gotzmann, U. König
Der letzte Schritt ist der wichtigste - Entwicklung und Aufbereitung von Medizinprodukten
GIT Laborzeitschrift, Vol. 3, 2020, Seite 46 – 48

G. Gotzmann, U. Vogel, D. Glöß, P. Wartenberg, U. König
Smarte selbstreinigende Oberflächen
Journal für Oberflächentechnik, Vol. 60, Nr. 4, 2020, S. 54 – 57

J. Ràfols-Ribé, N. D. Robinson, C. Larsen, S. Tang, M. Top, A. Sandström, L. Edman
Self-Heating in Light-Emitting Electrochemical Cells
Advanced Funktional Materials, Open Access, Artikel 1908649, 10 Seiten

J. Fertey, L. Bayer, S. Kähl, R. M. Haji , A. Burger-Kentischer, M. Thoma, B. Standfest, J. Schönfelder, J. Portillo Casado, F.-H. Rögner, C. G. Baums , T. Grunwald, S. Ulbert
Low-Energy Electron Irradiation E ciently Inactivates the Gram-Negative Pathogen
Rodentibacter pneumotropicus - A New Method for the Generation of Bacterial Vaccines with Increased E cacy
vaccines, Vol. 8, Nr. 113, 2020, p. 1 – 11

S. Hamid, D. Heberling, M. Junghähnel, T. Preußner, P. Gretzki, L. Pongratz, C. Hordemann, A. Gillner
Optically Transparent Antenna Integrated Inside a Headlamp for Automotive Radar Application
IEEE Conference Publications, 14th European Conference on Antennas and Propagation, EuCAP 2020, Copenhagen, Denmark, 15. – 20. März 2020, Article number 9135927, p. 1 – 5

B. Zimmermann, G. Mattausch, C. Metzner
Rate and Composition Control for Plasma-assisted EB-PVD Processes by Optical Emission Spectroscopy
SVC Bulletin, Spring 2020, p. 64 – 71

T. Torims, G. Pikurs, K. Kravalis, A. Ruse, A.G. Chmielewski, A. Pawelec, Z. Zimek, G. Mattausch, M. Vretenar
Development of a Hybrid Electron Accelerator System for the Treatment of Marine Diesel Exhaust Gases
Proceedings of Virtual 11th International Particle Accelerator Conference, Caen, Frankreich, 10. – 15. Mai 2020, p. 1 – 5

M. Tajmar, T. Schreiber
Put strong limits on all proposed theories so far assessing electrostatic propulsion: Does a charged high-voltage capacitor produce thrust?
Journal of Electrostatics, Vol. 107, Artikel 103477

K. Fehse, B. Richter, I. Schedwill
CMOS-integrierte Lichtemitter für optische Sensorik und Mikrodisplays
Photonik, Vol 2/3, 2020, Seite 64 – 67

J. Fertey, M. Thoma, J. Beckmann, L. Bayer, J. Finkensieper, S. Reißhauer, B.- S. Berneck, L. Issmail, J. Schönfelder, J. Portillo Casado, A. Poremba, F.-H. Rögner, B. Standfest, G. R. Makert, L. Walcher, A. Kistenmacher, S. Fricke, T. Grunwald, S. Ulbert
Automated application of low energy electron irradiation enables inactivation of pathogen- and cell-containing liquids in biomedical research and production facilities
Nature, Scientific Reports, Nr. 12786, 2020, p. 1 – 14

M. Fahland, T. Vogt, U. Meyer, N. Prager, J. Fahlteich
Roll to Roll Deposition of Transparent Electrodes on Permeation Barrier Coatings
SVC Bulletin, Summer 2020, p. 38 – 42

S. Schreiber, M. Hoffmann
Biodegradierbare Elektronik: Basis für biologisch abbaubare Implantate
medical design, Nr. 3, 2020, Seite 39 – 41

C. May, M. Toerker, J. Hesse, J. Hauptmann, C. Keibler-Willner, A. Philipp, M. Wieczorek
OLED Lighting Design and Roll-to-Roll Manufacturing
Digest of Technical Papers, SID-International Symposium, San Francisco, USA, 07. – 12. Juni 2020, Vol. 51, Nr. 1, p. 90 – 92

J. Hesse, C. Keibler-Willner, A. Philipp
Application of OLED Area Light in Textiles: Approaches, Challenges, Limitations, and Perspectives
Digest of Technical Papers, SID-International Symposium, San Francisco, USA, 07. – 12. Juni 2020, Vol. 51, Nr. 1, p. 1155 – 1158

S. Schreiber, M. Hoffmann, C. May
Material Selection for Biodegradable Organic Thin Film Transistors
Proceedings of Electronic Goes Green 2020, Online Event, 01. September 2020, p. 31 – 36

C. May, A. Graf
From the zoo to the wild: The appeal of structured OLED lighting
OPE Journal, Vol. 32, 2020, p. 24 – 25

O. Zywitzki, T. Modes, K. Schäfer
Corrosion and Microstructural Studies on Gilded Silver Threads from Sumptuous Textiles from the Era Augustus the Strong
Practical Metallographie, Vol. 57, Nr.12, 2020, p. 853 – 868

US 10,557,196 B2
Method for Reducing the Adhesion of Dirt to Substrate
S. Günther, C. Steiner, J. Kubusch

JP 6649948 B
Method for Reducing the Adhesion of Dirt to Substrate
S. Günther, C. Steiner, J. Kubusch

US 10,644,070 B2
Component for Detecting Electronic Radiation
B. Richter, P. Wartenberg, K. Fehse, M. Jahnel

EP 2 439 763 B1
Magnetron device and method for pulsed operation of a magnetron device
H. Bartzsch, R. Labitzke, P. Frach, M. Gittner

EP 3 245 559 B1
Electrical Controlled Interference Color Filter and the use thereof
A. Seeboth, D. Lötzsch, C. Rabe, P. Frach, M. Gittner, H. Bartzsch, R. Barré, R. Bartwann, M. Vergöhl, S. Bruns, T. Neubert, J. Fischer, G. Schottner

DE 10 2012 024 599 B4
Anordnung mit optisch transparenten und funktionalen Bauelementen
O. Hild, B. Beyer, D. Schlebusch, S. Richter

EP 3 518 899 B1
Method for Immobilizing Plant active Substances an a non-metallic Substrate
M. Dietze, B. Kemper, J. Kubusch

JP 6689068 B2
Process for Depositing a transparent multilayer System with anti-scratch Properties
H. Bartzsch, P. Frach, K. Täschner

DE 10 2019 107 163 B3
Dünnschichttransistor und Verfahren zum Herstellen eines Dünnschichttransistors
M. Hoffmann, S. Schreiber, F. Schütze, H. Wolter, N. Somchith

US 10,806,018 B2
Apparatus for Generating Accelerated Electrons
A. Weidauer, F.-H. Rögner, G. Mattausch, R. Blüthner,
I. G. Vicente Gabas, J. Kubusch

DE 10 2015 109 044 B4
Bauteil zum Detektieren elektromagnetischer Strahlung
B. Richter, P. Wartenberg, K. Fehse, M. Jahnel

CN 108603277 B
Method for Depositing a CdTe Layer on a Substrate
H. Morgner, C. Metzner, D. Hirsch, O. Zywitzki, L. Decker, T. Werner, B. Siepchen, B. Späth, K. Velappan, C. Kraft, C. Drost

US 10,797,109 B2
Microstructured Organic Sensor Device and Method for Manufacturing same
B. Richter, P. Wartenberg, K. Fehse, M. Jahnel

EP 3 181 721 B1
Method for Producing a Laminates Composite Consisting of a Film of Plastic Material and a Layer Deposited thereon
H. Drese, J. Fahlteich, W. Schwarz, F.-H. Rögner, N. Schiller

EP 3 570 310 B1
Device for Generating Accelerated Electronics
A. Weidauer, F.-H. Rögner, G. Mattausch, R. Blüthner, I. G. Vicente-Gabas, J. Kubusch, V. Kirchhoff

EP 3 133 184 B1
Method of Forming a Layer having high Light Transmission and /or low Light Reflection
M. Junghähnel, T. Preußner, U. Hartung