Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl-Seminar / 12. März 2014 - 13. März 2014
Modulare Seminarreihe – Arc-Verfahren und Aufdampfen (ARC)
Unsere Referenten
Prof. Dr. Christoph Metzner
Bereichs- und Abteilungsleiter
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Dr. Henry Morgner
Projektleiter
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Programm:
| 1. Tag, 09:00 bis 17:15 Uhr 1. Grundlagen und Technologie des Arc-Verfahrens • Einordnung, Geschichte des Arc-Verfahrens • Grundlagen (Bogenentladung, Brennfl ecken, …) • gepulste und ungepulste Verfahren • Verdampfer, Prinzipien, Konstruktionen |
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| 2. Herstellung hart-amorpher Kohlenstoffschichten, Herausforderungen und Lösungen • Arc-Abscheidung von amorphen ta-C Kohlenstoffschichten • Droplet- Partikelentstehung und -auswirkung • Plasmafi lter (Prinzipien und Typen) • Industrielle Anwendungsbeispiele |
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| 3. Werkzeug und Komponentenbeschichtung in der industriellen Praxis • Reaktive Prozesse und Kombinationsverfahren • Arc-Abscheidung von Hartstoffschichten • Industrielle Arc-Anlagen • Anwendungen |
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| Laborbesichtigung im Fraunhofer IWS und FEP Dresden (ca. 15:50 bis 17:00 Uhr) • Beschichtungsanlagen auf der Basis des Arc-Verfahrens • Anlagen zur Abscheidung harter Kohlenstoffschichten auf Bauteilen und Komponenten (Laser-Arc) • Anlagen und Einrichtungen zur Elektronenstrahltechnik und zur Elektronenstrahlbedampfung • Bedampfungsanlagen für Bauteile, Kunststoff-Folien, Platten und Metallbänder (VERSA, novoFlex® 600, MAXI) • Einrichtungen zur Entwicklung und Erprobung von Elektronen kanonen für die Bedampfung |
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Stadtführung mit anschließendem Erfahrungsaustausch zwischen Teilnehmern und Referenten bei einem gemeinsamen Abendessen |
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| 2. Tag, 08:30 bis 14:30 Uhr 1. Grundlagen der Elektronenstrahlverdampfung • Was ist Elektronen strahlbedampfung /-verdampfung? • Grundlagen der Verdampfung • Elektronenkanonen für die Verdampfung • Typische Verdampferkonfi gurationen |
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| 2. Plasmaaktivierte, reaktive Elektronenstrahlbedampfung • Einführung • Kombination der Elektronenstrahlverdampfung mit geführten Bogenentladungen • Wirkung der Plasmaaktivierung auf die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten |
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| 3. Anwendungen der Elektronenstrahlbedampfung • Beispiele: Beschichtung von optischen Linsen, Turbinenschaufeln, metallischen Bändern und Kunststoff-Folien • Anlagentechnik: Batch- Anlagen und kontinuierliche Bandanlagen • Perspektiven der Elektronenstrahlbedampfung |
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| Zusammenfassung, Ausblick, Entwicklungstrends |
Teilnehmerkreis
- Geschäftsführer und Betriebsleiter
- Fach- und Führungskräfte aus den Bereichen der Beschichtungs- und Oberfl ächen technik, des Maschinen- und Anlagenbaus, der Automobil- und Zuliefererindustrie sowie der metallverarbeitenden und optischen Industrie
- Ingenieure, Techniker, Physiker und Materialwissenschaftler
aus Entwicklung, Fertigung und Qualitätssicherung