Konferenz  /  29. April 2013  -  03. Mai 2013

40th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films ICMCTF

Vortrag

Prof. Dr. C. Metzner
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

»High-rate PECVD with metal strip magnetron for hard and other  functional coatings«

 

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