Mikrodisplays und Sensorik

Unser Angebot umfasst alle notwendigen Schritte von der Konzeptphase eines Entwicklungsprojektes bis zur Technologieüberführung:

• Machbarkeitsstudien
• Konzipierung eines F&E-Projektes mit Arbeitspaketen, Meilensteinen, Kosten
• OLED-Fertigungstechnologien für organische Halbleiter
• CMOS Design als Grundlage für die Ansteuerung der OLED-Bild- oder Sensorelemente
• Prototyping
• Organisation der Fertigung durch ein Netzwerk externer Foundries
• Erstellung des Systemkonzepts basierend auf neuartigen Aufbau- und Verbindungstechnologien
• Entwicklung von Prozessen und Verfahren für strukturierte, anwendungsspezifische OLED, z. B. OLED Mikrostrukturen, OLED für Medizinanwendungen sowie für organische Photodioden (OPD)
• Pilotfertigung
  
• Angebot von Evaluations-Kits für eigene Tests, Evaluierungen etc.
• Technologie- sowie auch Designtransfer und Lizensierung für OLED-Mikrodisplays, OPDs, AR für wearables, optische Sensoren, Fingerprintsensoren, …

In allen Fällen können sowohl starre Substrate wie z. B. Siliziumwafer oder Glas, als auch flexible Substrate zum Einsatz kommen.

• Bi-direktionale OLED-Mikrodisplays
  • in Datenbrillen zur verbesserten Mensch-Maschine-Interaktion
  • als Anzeigeelemente in Wearables
  • zur Unterstützung sehbehinderter Menschen
  • als Arbeitsunterstützung in der industriellen Fertigung, Logistik, …
  • als Fingerprintsensoren
• OLED Mikrodisplays emittierend im sichtbaren und NIR-Bereich
• Kundenspezifische Auflösungen SVGA, XGA, VGA, …
• Ultra-low power Mikrodisplays
  • für Fitnesstracker
  • zur Überwachung der Vitalparameter in medizinische Applikationen,…
• OLED Mikrodisplays für Projektionsanwendungen

→ Alle Mikrodisplays erhältlich als Evaluation-Kits in unterschiedlichen Ausführungen

• Leuchtende Strichplatten und Mikrostrukturen mit OLED
• mit Elektronenstrahl strukturierte OLED
• Intelligente Mikrosensoren mit OLED-auf-Silizum-Technologie
• Organische Photodioden im sichtbaren und UV/NIR Bereich
• Backplanes für Displays und Sensoren, Evaluation-Kits
  
• Biosensoren
• Position and Inclination Sensor
  

Im Bereich Mikrodisplays und Sensorik bieten wir unseren Kunden zur Forschung und Entwicklung sowie Pilotproduktion von OLED-Mikrodisplays und Sensoren ein breites Spektrum an Prozessen, die unter Reinraumbedingungen zur Verfügung stehen.

Im Zentrum der Arbeiten stehen die Erzeugung von dünnen Schichten im Nanometer- bis Mikrometer-Bereich und deren Strukturierung. Hierzu stehen unterschiedliche Anlagen und Prozesse zur Verfügung. Ebenfalls sind auch analytische Methoden zur Schichtcharakterisierung vorhanden.

• Kombinierbarkeit unterschiedlicher Prozesse
• Dünnschichtverkapselung
• Abscheidung hochpräziser Schichten und Schichtsysteme auf Wafer, Positioniergenauigkeit ±10 µm
• Waferverkapselungsprozesse, Positioniergenauigkeit ± 1µm
• Dünnschichtabscheidung, Strukturierung und Analyse auf Waferlevel (200 mm)
  
• 300 m² Reinraum Klasse 10
• Pilotlinie OLED-on-CMOS
• Pilotlinie starre Substrate
• Pilotlinie starre/flexible Substrate
• Anlagen zum Ätzen, Sputtern, Spin coating
• Abscheidung durch thermisches Verdampfen, Elektronenstrahl, Vitex/Barix™, Dünnschichtverkapselung
• automatisiertes Wafer-Bonden-System
• Fotolithographie
• Ellipsometer
  
• Wafer Prober
  (u.a. ein Wafer Prober zur Verfügung gestellt durch die Firma EVERBEING INT´L Corporation)