Laborbeschichtungsanlage mit Elektronenstrahl-Verdampfer – EMO

Beschichtungskammer während des Prozesses
Blick in die Beschichtungskammer

Beschichtung von metallischen Platten und Bändern, Energietechnik

Wir befassen uns mit der großflächigen Vakuumbeschichtung von metallischen Platten und Bändern mit hohen Abscheideraten. Neben der hohen Umweltverträglichkeit besteht der Vorteil unserer Verfahren in der fast unerschöpflichen Palette der abscheidbaren Schichtmaterialien, die weit über die der
konventionellen Oberflächenveredelungsverfahren hinausgeht.

Beschichtung von Bauteilen

Wir beschichten dreidimensionale Gegenstände aus Metall, Keramik, Glas oder Kunststoff, um ihre Funktion und Lebensdauer durch Anpassung der Oberflächeneigenschaften zu verbessern. Mithilfe von Vakuumbeschichtungstechnologien erhöhen wir die Korrosions-, Kratz- oder Verschleißbeständigkeit von Werkzeugen und Bauteilen. Auch dekorative oder anspruchsvolle optische Eigenschaften sowie Biofunktionalität und -kompatibilität können durch Aufbringen geeigneter Schichten und Mehrlagen-Schichtsysteme erzielt werden.

Technische Daten

Elektronenkanone 120 kW / 40 kV
Plasmaaktivierung Hohlkathodenbogenquellen (HAD-Prozess)
diffuse Bogenentladung bis zu 1000 A (SAD-Prozess)
Verdampfertiegel wassergekühlte Kupfertiegel
»heiße Tiegel« (Grafit, Keramik)
Substratabmessung (Platten) max. 100 mm × 200 mm
Substratgeschwindigkeit bis zu 0,1 m/s
Substratvorbehandlung Strahlungsheizer: max. 4 kW
Sputterätzer: max. 3 kW
DC Magnetron: max. 5 kW
Schema der Anlage
Transportsystem und Verdampfer-Einheit