
Die Oberflächenveredelung von Kunststofffolien und anderen flexiblen Substraten mit dünnen Schichten ermöglicht den Einsatz dieser Materialien in einer Vielzahl von Produkten. Mit vakuumbasierten Rolle-zu-Rolle-Anlagen können Beschichtungen kostengünstig und effizient abgeschieden werden.
In der Vakuumbandbeschichtungsanlage coFlex® 600 können optische, elektrische oder dekorative Funktionsschichten durch Sputterverfahren und Magnetron-PECVD-Prozesse aufgebracht werden. Dabei können Beschichtungsgeschwindigkeiten von bis zu 100 Metern pro Minute erzielt werden.
Das Anwendungsspektrum der Schichten, die in der Anlage aufgebracht werden können, ist groß. Optische Schichtsysteme werden beispielsweise für UV-Spiegel oder als Infrarot-reflektierende Wärmeschutzschichten eingesetzt. In Displays werden elektromagnetische Entkoppelungsschichten (EMV-Schichten) oder transparent leitfähige Schichten verwendet. Flexible Solarzellen benötigen Front- und Rückkontakte oder transparent leitfähige Schichten, die auf Folie abgeschieden werden.
Durch die Ausstattung der coFlex® 600 mit einer Vorbehandlungseinheit, optischen in-situ-Messeinheiten und mehreren Beschichtungskammern steht am Fraunhofer FEP eine Gesamttechnologie zur Entwicklung und Pilotproduktion von Mehrfachschichtsystemen unter produktionsnahen Bedingungen bereit.
Beschichtungsbreite | 600 mm |
Bandbreite | 650 mm |
Banddicke | 7 ... 200 µm |
max. Außendurchmesser | 400 mm |
Bahngeschwindigkeit | 0,1 ... 100 m/min |
Prozessmodule |
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Beschichtungsmaterial | Metalle, TiO2, SiO2, Nb2O5, ITO, ZAO, SnO2, HfO2, WO3, TiN, Si3N4, ZrO2, ... |
In-situ Messung |
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