ERICA

Mit der Clusteranlage ERICA können komplexe Prozessketten im Vakuum simuliert werden. Dadurch ist es möglich, kostengünstig Technologieentwicklung und Machbarkeitsstudien von Beschichtungs- und Strukturierungsschritten in beliebiger Reihenfolge durchzuführen. Die fünf Kammern der ERICA sind mit Technologien zur Vorbehandlung der Substrate, zur Vakuumbeschichtung sowie zur Oberflächenmodifikation und -strukturierung ausgerüstet.

Das Transportsystem der ERICA ist für Flachsubstrate (Silizium-Wafer, Glasscheiben, Folien usw.) mit einem Durchmesser von 8 Zoll und einer maximalen Dicke von 3,5 mm ausgelegt. Die Flexibilität der Versuchsanlage ist eine ideale Voraussetzung für die Technologieentwicklung komplexer Prozessketten, so zum Beispiel für die Herstellung von Solarzellen, von abrasionsbeständigen und optischen Funktionsschichten aber auch für die Oberflächenstrukturierung und -modifizierung.