ALMA 1000

Prototyp einer Verdampfungsanlage zur Beschichtung von Kleinteilen als Schüttgut, ausgestattet mit

• zwei Schiffchenverdampfern,
• einer Hohlkathodenquelle zur Plasmaaktivierung,
• einem Magnetron zum Puls-Magnetron-Sputtern
• einer Einrichtung zur Umwälzung und Fliehkraftfixierung des Schüttguts in einer rotierenden Trommel

Typische Substrate

• Beschichtung von Kleinsubstraten, die als Schüttgut gehandhabt werden, mit typischen Abmessungen von 5 × 5 × 5 mm³.

Aufgabenspektrum

• Technologie- und Verfahrensentwicklung
• Machbarkeitsstudien
• Musterbeschichtung