EMO

Vakuumbeschichtungsanlage mit Hochleistungselektronenstrahlausrüstung (100 kW) zur Bedampfung und zum Umschmelzen unter aufskalierbaren Bedingungen

Typische Substrate

• Beschichtung von Platten aus Metall, Kunststoff, Glas oder Keramik mit einer maximalen Abmessung von 100 × 200 mm
• Beschichtung von dreidimensionalen Bauteilen

Aufgabenspektrum

• Machbarkeitsstudien
• Technologieentwicklung, insbesondere neuer Plasmaprozesse bei der Hochratebedampfung und Substratvorbehandlung
• Entwicklung neuer PVD-Schichtsysteme
• Grundlegende Untersuchungen zur Elektronenstrahlverdampfung
• Test von Schlüsselkomponenten unter industrienahen Bedingungen