Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
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In-line Vakuum-Beschichtungsanlage für Platten und metallische Bänder – MAXI
Entwicklung neuer Produkte auf der Basis von neuen Schichtsystemen und komplexen PVD-Technologien unter aufskalierbaren Bedingungen (bis zu einer Beschichtungsbreite von 500 mm)
Typische Substrate
- Ein- und Doppelseitenbeschichtung von Platten aus Metall, Kunststoff, Glas oder Keramik mit einer maximalen Abmessung von 500 × 500 mm
- Beschichtung von Metallbändern mit einer maximalen Breite von 300 mm und einer maximalen Dicke von 1,5 mm
Aufgabenspektrum
Herstellung großflächiger Beschichtungen:
- für spezielle Tests
- als Pilotfertigung von Kleinserien für Fraunhofer FEP-Kunden
- zur Bemusterung beim Endkunden
- für die Marktentwicklung
- Test von Schlüsselkomponenten unter industrienahen Bedingungen
- Detaillierte Untersuchungen zur Wirtschaftlichkeit
Anwendungen / Funktionen
| Korrosionsschutz | ZnMg, Ti, Al, Cr, Cu, Sn, Zn |
| Dekorativ | TiN, Cr, Ti, TiO2 |
| Transparenter Kratzschutz | SiOX, Al2O3 |
| Hartstoffschicht | TiN, TiC, a-C, WC, Al2O3, a-C(:H) (:Ti/W) |
| Isolation | SiOX, Al2O3 |
| Elektrisch leitend |
Al, Cu, Sn, Mo |
| Löt- und Schweißbarkeit |
Cu, Sn, Si |
| Photokatalytisch | TiO2 |
| Solarabsorber | Ti- oder Cr-basierte Cermets |
| Konversionsschicht | SiOX |
| Hochreflexion | SiO2, TiO2 |
| Spezielle Funktionen | Al, Cu, Sn |
Beschichtungsverfahren
- Hochrate-Elektronenstrahl-Bedampfung
- Verdampfung von Metallen, Legierungen und Verbindungen
- plasmaaktivierte Prozessführung (HAD und SAD Prozesse)
- reaktive Prozessführung
- Puls-Magnetron-Sputtern
- andere PVD-Verfahren (z. B. Jet-Verdampfer)
- PECVD-Prozesse
Anlage und Ausrüstung
| Allgemein | modulares System mit 8 Kammern |
| Dimensionen | Länge / Breite / Höhe: 14 m / 2,5 m / 4 m |
| Beschichtungsbreite | bis zu 500 mm |
| Substratgeschwindigkeit | 0,001 … 1,0 m/s |
| Bandabmessungen |
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| Plattenabmessungen |
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| 1. Elektronenkanone | max. Leistung: 160 kW |
| 2. Elektronenkanone | max. Leistung: 300 kW |
| sonstige Ausrüstung |
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