OTTI Anwenderforum – Praxisnahe Vakuum- und Dünnschichttechnologien für Techniker

• Physikalische Grundlagen der Vakuumtechnik
• Vakuumpumpen und Pumpsysteme für die Dünnschichttechnologie
• Vakuummesstechnik
• Eigenschaften von Materialien im Vakuum
• Reinigen und Vorbehandeln vor dem Beschichten
• Beschichtungsmaterialien, deren Einsatz und Eigenschaften
• Grundlegende Prozesstechnologie in der Vakuumbeschichtung
• Energieversorgung für die Beschichtungstechnologie
• Praktische Beispiele und Anwenderberichte

Vortrag

Dr. Daniel Glöß
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

»Besonderheiten und Varianten der Anlagentechnik«

Rainer Labitzke
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

»Technologische Stromversorgungen für Plasma- und Elektronenstrahlanwendungen«

Webseite der Veranstaltung